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      石家莊凈化工程
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      凈化知識

      1.系統

            室內的空氣凈化系統可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例,二則取決于房間的工作參數。

      2.潔凈度與換氣次數

            房間的潔凈度取決于單位時間的換氣次數,因此慎密考慮房間的工作性質、以及生產工藝要求,再決定凈化系統的技術參數。

      3.結構

            為了保證氣流幾乎不受干擾,就必須進行結構設計,必要的謹慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。

      4.設計方案

            要確定設計方案,必須先對房間的工作性質以及其中的氣流條件進行認真的考慮。發塵量大的車間不宜采用地面送風形式,潔凈度要求高的車間應盡可能遠離其它車間。

      5.材料

            作為潔凈室頂棚,墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒,以及幾乎不起塵的材料,另外根據房間不同的工作條件,還必須考慮材料的化學性能是否穩定。

      6.壓力和氣流

            為了保證房間的潔凈度,必須防止外面污染氣流進入室內,要達到這個目的,房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力,必須補充適當的新鮮空氣。

      7.輔助設備

            必要時還得安置一些輔助設備:如新風口的空氣指示儀,隔斷上的傳遞窗等。這些設備必須適合房間的要求,并且必須真正了解其功能.

      8.人和物的控制

            人和物是潔凈室的主要塵源,因此必須充分控制,例如:在進入凈化房前,所有的人都要經過人凈系統,更換無塵衣,并且要接受凈化系統功能的基本教育。

      9.給排水和送風裝置及電源

            根據所要運行的車間,提供必須的給排水裝置,送風裝置和電源,這些裝置和所涉及的設備必須易于使用和設計,同時不得有勃于空氣凈化系統。 


      潔凈室的規劃 一般性的規劃重點
      潔凈室的整廠規劃(Turn Key Projects)(如表3-1),因涉及范圍極廣,需建筑、水電、空調、環保、防震、制造等各項專業人才共同規劃,盡管不少潔凈室規劃,多需要就于既有的建筑物,然而,為避免失誤應盡可能事先確認下列事項:

       

      1. 潔凈度等級。 2. 室壓之平衡措施。
      3. 溫濕度要求。 4. 機器設備之必要性。
      5. 確定生產流程。 6. 局部排氣之必要性。
      7. 日后擴充彈性。 8. 足夠維護保養空間。
      9. 空調送風方式。 10. 員工休息區之安排。
      11. 設施與動力之配置。 12. 室內凈高與樓板載重。
      13. 設備空間與管道間。 14. 門窗宜少,氣密性要佳。
      15. 靜電、振動及噪音。 16. 生產線與活動線少交叉。
      17. 公害、污染與防災。 18. 安裝及運轉成本之衡量。

       

      潔凈室的動線規劃

      所謂[動線],是指人員、原料之入室路線,與人員與成品的出室路線。規劃時,要檢討分析人(車)路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業之流程等,盡量縮短動線,并避免交叉,以防止交叉污染(Cross Contamination)。

      要點:

      1. 作業者、材料、化學藥品等動線勿集中。
      2. 制造裝置之出入,需不對作業產生大影響。
      3. 超潔凈室四周,宜設緩沖區(即較差潔凈區)。

      工業潔凈室(ICR)之潔凈度與適用和分類表

       

       

      潔凈度
      產業別

      潔凈度(≥0.5μm,個/ft3)
      1
      10
      100
      1000
      10000
      100000
      LSI制造工程          
      LSI組立檢查工程          
      (矽)單結晶              
      照像光罩photo mask
       
           
      光阻涂膜photoresist
       
           
      一般液晶(tn,stn)              
      顯示用液晶(tft,mim)          
      投影用液晶(tft)          
      混合(hybrid)IC              
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      印刷配線板              
      電晶體、二極體          
      精密電子部品            
      磁頭              
      磁碟          
      電腦、磁碟裝置組立            

      錄影帶、光碟

               

      照像底片

                 
      光織              
      精密軸承    
       
         

      光學鏡片

                 
      半導體制造裝置          
      潔凈管及閥類          
      LSI制造用化學藥品          
      精密測定機制造            
      清洗無壓衣            
      印刷、制版              

       

       生物潔凈室(BCR)之潔凈度與適用和分類表

       

      潔凈度
      產業別
      潔凈度(≥0.5μm,個/ft3)
      1
      10
      100
      1000
      10000
      (醫藥品)            
      抗生物質            
      注射藥            

      血清

                 

      藥劑包裝過程

               

      醫療用器具

               

      (病院)

                 

      無菌手術室

                 

      手術室

               

      無菌病室

                 

      調劑室

                 

      (食品)

                 

      牛乳·乳制品

               

      食肉·食肉加工

               

      煉乳制品

                 

      清酒·酒類

                 

      糕餅·豆腐

                 

      制果·面包

               

      (動物實驗)

                 

      飼養區

               

      隔離區

                 

      其他

                 

      磨茹·菌類培養

               

      觀葉植物培養

               

      化妝品

               

      美國太空署(NASA)之無菌室規范重點(NHB-5340.2)

      無菌室(BCR)潔凈等級 微粒子 微生物
      粒徑 累積粒子數
      個/ft3(個/L)
      浮游量
      個/ft3(個/L)
      沈降量
      個/ft2(個/M2)
      100 ≥0.5 ≤100(≤3.5) ≤0.1(0.0035) 1200(12900)
      10000 ≥0.5 ≤10000(≤350) ≤0.5(0.0176) 6000(64600)
      ≥0.5 ≤65(≤2.3)
      100000 ≥0.5 ≤100000(≤3500) ≤2.5(0.0884) 3000(323000)
      ≥5.0 ≤700(≤25)

       FS-209E潔凈度等級(1992年)

      粒徑大小 ≥0.1μm ≥0.2μm ≥0.3μm ≥0.5μm ≥5μm
      微粒子數 個/M3 個/ft3 個/M3 個/ft3 個/M3 個/ft3 個/M3 個/ft3 個/M3 個/ft3
      S1制級 英制級                    

      M1

       

      350

      9.01

      75.7

      2.14

      30.9

      0.875

      10.0

      0.283

         

      M1.5

      1

      1240

       

      265

      7.50

      106

      3.00

      35.3

      1.00

         

      M2

       

      3500

      35.0

      757

      21.4

      309

      8.75

      100

      2.83

         

      M2.5

      10

      124000

       

      2650

      75.0

      1060

      30.0

      353

      10.0

         

      M3

       

      35000

      99.1

      7570

      214

      3090

      87.5

      1000

      28.3

         

      M3.5

      100

         

      26500

      750

      10600

      300

      3530

      100

         

      M4

           

      75700

      2140

      30900

      875

      10000

      283

         

      M4.5

      1000

                 

      35300

      1000

      247

      7.00

      M5

                   

      100000

      2830

      618

      17.5

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